隨著回收砂比例的增大，鋼線磨損增加，導(dǎo)致切割末端鋼線直徑變小，斷線的幾率也就隨之增大；而且隨切割時(shí)間的推移，碳化硅顆粒不斷破碎磨損，切割能力必定有所降低，那么硅片出現(xiàn)鋸痕的幾率

就會增加，并且參加完整個(gè)切割過程后，膠面出刀部位很容易出現(xiàn)硅片小崩邊現(xiàn)象。

1．根據(jù)機(jī)床試驗(yàn)部分對切割后的硅片若干組樣品進(jìn)行鋸痕檢測，從檢測結(jié)果看出硅片鋸痕值都能滿足生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)要求，但是不同回收砂比例切割后的硅片鋸痕有一定區(qū)別，回收砂比例越大，鋸痕越大，基本呈線性關(guān)系，每提高10%比例的回收砂，硅片鋸痕值增大約0.8um。

2．根據(jù)機(jī)床試驗(yàn)部分對切割后的硅片若干組樣品進(jìn)行TTV檢測，從檢測結(jié)果看出硅片TTV值都能滿足生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)要求，但是不同回收砂比例切割后的硅片TTV有一定區(qū)別，回收砂比例越大，TTV值越小，因?yàn)榛厥丈氨壤龃蠛髮璧哪p普遍下降尤其是入線口處，每提高10%比例的回收砂，硅片TTV值減小約1.5um。

3．由硅片TTV和鋸痕檢測不難發(fā)現(xiàn)，不同回收砂比例切割硅片質(zhì)量參數(shù)有不同之處，但是都符合生產(chǎn)質(zhì)量的要求。而對應(yīng)不同回收碳化硅使用比例所切割的合格率為95.45%、95.62%、95.23%。隨著回收砂比例的增大，切割質(zhì)量并未見多大影響，而且也并不是隨比例增加呈線性關(guān)系。

通過試驗(yàn)數(shù)據(jù)可以看出，其它切割條件相同，使用不同回收砂比例切割，如果質(zhì)量不穩(wěn)定會使硅片切斜的幾率增大，導(dǎo)致鋸痕增大，同時(shí)增大回收砂比例也會對膠面出刀小崩邊有一定影響。如果回收砂質(zhì)量穩(wěn)定的前提下，增大回收砂比例對硅片TTV有好的影響，但會使硅片鋸痕稍偏大，也會不同程度的影響硅片小崩邊尤其是出刀膠面小崩邊會增多，如果工藝調(diào)試的比較匹配不會對切割合格率造成影響，而且隨著回收砂比例的增大，對硅片切割成本有較大貢獻(xiàn)。