碳化硅微粉是多線切割硅片中最主要的磨料，適合切割較硬、脆的材料。多線切割是由導(dǎo)輪帶動鋼線進行高速運動，由鋼線攜帶砂漿進行研磨的切割方式，而砂漿就是懸浮液（PEG）和碳化硅（SiC）的混合物，當切割完畢后新砂漿變成廢舊砂漿，如果把廢砂漿丟棄會造成極大的環(huán)境污染而且對成本降低也不利，所以目前光伏行業(yè)的發(fā)展趨勢是使用回收碳化硅，本文討論了不同比例的回收碳化硅對硅片質(zhì)量的影響。

引言：

砂漿就是懸浮液（PEG）和碳化硅（SiC）的混合物，切割完的廢砂漿中由于含有較多的鐵粉、硅粉等雜質(zhì)，并且參與切割后的許多碳化硅顆粒破損，直接再參與切割會對切割能力造成極大影響，從而影響硅片質(zhì)量，所以需要對廢砂漿進行提煉，將里面的碳化硅及懸浮液進行再處理，然后將再處理后的碳化硅及懸浮液與新碳化硅、新懸浮液進行一定的比例混配再次切割，目前行業(yè)內(nèi)一般回收碳化硅比例到60%-80%，回收切割液比例使用比例達到40%-90%，甚至100%。

一、碳化硅中影響質(zhì)量的參數(shù)
硅片切割主要是鋼線攜帶砂漿進行研磨的滾動式切割，而起主導(dǎo)作用的就是砂漿中的碳化硅，由于切割中碳化硅會與硅發(fā)生碰撞、摩擦，使得碳化硅部分顆粒不斷的磨損及破碎，從而影響了硅片切割的質(zhì)量。在碳化硅幾個主要的參數(shù)當中，硬度、粒型、粒徑、圓形度及微粉含量在切割中起到了至關(guān)重要的作用，碳化硅硬度是受碳化硅生產(chǎn)的原料的硬度決定的，冶煉時間的長短決定了碳化硅的硬度，如果硬度過低，在切割過程中與硅碰撞摩擦，會導(dǎo)致顆粒被磨平鈍化，導(dǎo)致切割能力不足，最終會使硅片產(chǎn)生鋸痕；粒型與其破碎的工藝相關(guān)，如果顆粒當中長條狀、扁平狀顆粒較多，切割過程中就不會起到對硅的滾動摩擦，從而使切割能力下降，造成硅片鋸痕、切斜的發(fā)生；碳化硅生產(chǎn)過程中無法對相同粒徑的顆粒進行集中分離，但是顆粒較大與顆粒較小的碳化硅對切割質(zhì)量都有不利影響，所以都會要求中值粒徑在某一范圍內(nèi)；圓形度及微粉含量在回收碳化硅中體現(xiàn)尤為明顯，圓形度表征的是碳化硅棱角的鋒利程度，在硅片切割時，如果圓形度較大，即棱角平滑，會使切割能力不足導(dǎo)致
硅片鋸痕的產(chǎn)生；碳化硅的制作過程中尤其是碳化硅從廢砂漿回收過程中，微粉很難處理干凈，一般指粒徑小于2μm的顆粒，微粉存在過多的話，切割過程中微粉會對碳化硅形成包裹，從而使碳化硅的切割能力下降，影響硅片質(zhì)量。

二、機床試驗部分

使用相同的設(shè)備對156*156mm多晶硅塊進行切割，對比不同回收碳化硅比例下的硅片切割質(zhì)量情況，回收碳化硅比例50%、60%、65%，回收切割液比例90%、鋼線型號0.13mm，相同的工藝參數(shù)、相同的
砂漿更新量的條件下進行，同時使用掃描電鏡、貝克曼粒徑分析儀、馬爾文3000圓形度儀對碳化硅顆粒進行了圓形度、粒徑及微粉含量等的檢測，同時對比了不同回收碳化硅比例的廢砂漿中硅粉、鐵粉及硅片質(zhì)量的檢測。